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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯动联科(688582)新获得一项发明专利授权，专利名为“一种具有TSV结构的MEMS芯片及其圆片级气密性封装方法”，专利申请号为CN201911125646.1，授权日为2025年1月7日。

此外，公司一直致力兼顾平衡股东利益及公司未来发展需求，力求在保证公司长远发展的基础上，与股东分享公司的业务成果。据悉，公司董事会决议建议宣派截至2021年12月31日止年度的末期股息，为每10股股份人民币2.50元(含税)或合共约2.09亿元，占2021年归属于母公司所有者的本年净利润的46.15%。

天眼查信息显示，晨光生物前身为成立于2000年4月12日的河北省曲周县晨光天然色素有限公司，目前，公司从事的业务属于天然植物提取物细分领域，主要研制和生产天然色素、天然香辛料提取物和精油、天然营养及药用提取物、蛋白油脂、果脯等。

专利摘要：本发明公开了一种具有TSV结构的MEMS芯片及其圆片级气密性封装方法，本发明的MEMS芯片，在盖板的深槽内壁上覆盖一层绝缘氧化层，使其成为氧化深槽，并在氧化深槽内充满深槽多晶硅，成为TSV结构，MEMS结构的电信号既可以通过第一键合金属块和TSV导电柱连接到顶层金属图形上，也可以通过第二键合金属块、金属导线和深槽多晶硅连接到顶层金属图形上，达到了一个TSV结构导通二路电信号的目的。本发明的方法仅在盖板圆片制作步骤增加了蚀刻盖板下凹腔一个加工工序，就在深槽内壁覆盖绝缘氧化层形成氧化深槽，并在氧化深槽内充满深槽多晶硅，形成TSV结构，达到一个TSV结构导通二路电信号的目的，制造工艺简单，获得的MEMS芯片体积小，成本低。

今年以来芯动联科新获得专利授权2个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5371.73万元，同比增61.84%。

数据来源：天眼查APP

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